Научно-исследовательские и опытно-конструкторские работы по изготовлению комплекта фотошаблонов для создания опытных образцов гибких инвазивных мультиэлектродных матриц в линейной и высокоплотной матричной конфигурации в соответствии с разработанными дизайнами